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等離子清洗機
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外觀圖

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  • 內槽

  • DP模式

  • RIE模式

等離子清洗機
PDC200/210/510
適用於研究開發的小型等離子清洗機 。
特點
  • DP模式(PDC510標配·PDC200/210選配) 。
  • RIE模式 。
  • 均勻性高的電極構造 。
  • 操作簡單的觸摸屏控製器 。
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