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等離子灰化機
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外觀圖

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  • 內槽

  • 矽晶圓灰化狀態

等離子灰化機
PR500/510/1000
低溫等離子·經典桶型 。
特點
  • 大口徑(Φ215mm)石英反應腔 。
  • 小型一體化設計 。
  • 操作簡單的觸摸屏方式(PR510型) 。
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