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潔淨厭氧高溫氣氛爐
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潔淨厭氧高溫氣氛爐
C1-008
光刻工藝後段 ，光刻膠固化 。
特點
  • 最高工作溫度360℃和600℃ 、潔淨度100級 、氧濃度20ppm以下 。
  • 程序運轉功能 ，有自動/手動兩種操作模式 。
  • 快速升溫 、降溫 ，降溫時可采用空冷 、空冷加水冷兩種方式 。
  • 配置了自動門鎖 、數字式壓力表 、數字式流量計等 。
  • 全不鏽鋼材質 。
  • 在安全方麵 ，配置了自動過升防止、過升防止器 、氮氣壓力異常 、氮氣流量異常 、過電流漏電保護斷路器等安全裝置 。
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